Pompele de vid miniaturale sunt pompe care folosesc gaz ca mediu de lucru principal. Adecvate pentru funcționare în gol-în gol pe termen lung și uscat, acestea creează un vid (presiune negativă) prin antrenarea unei diafragme pentru a efectua aspirarea și descărcarea gazului printr-o mișcare alternativă condusă de motor-. Aceste dispozitive dispun atât de duze de aspirație, cât și de evacuare. Modelele specializate includ modele cu dublu scop de aspirație/expansiune și apă/gaz pentru a se adapta la diferite condiții de operare.
Componentele de bază includ pompa cu diafragmă și controlerul de vid. Un produs tipic este Busch RA0020F (viteză de pompare 20 m³/h, presiune finală 0,1 mbar). Dezvoltarea tehnologică se concentrează pe miniaturizare, eficiență energetică și inteligență, încorporând tehnologia de levitație magnetică, tehnologia de lubrifiere fără ulei-și design ecologic. Aplicațiile majore includ echipamente medicale (dispozitive de aspirație, ventilatoare), monitorizarea mediului, fabricarea semiconductoarelor și noua industrie a energiei. Mărimea pieței interne a fost proiectată să ajungă la 5 miliarde de yuani în 2024.